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真空系统的计算例

* 来源: * 作者: * 发表时间: 2020-02-12 0:30:03 * 浏览: 0
(2)根据要求的工作压力和使用要求,选择油扩散泵为主泵。为了防止油进入真空室,在扩散泵和真空室之间安装了一个“山式”挡板(请参阅表2-19)。型号挡板的电导率为3.16L /(s.cm ^ 2),并装有高真空挡板阀。真空泵由2X机械泵组成,作为扩散泵的前级泵(见图9-12)。 。根据要求,该泵的有效抽速为3388L / s。考虑到加了阀和挡板后泵的抽速损失(一般泵的有效抽速约为抽速的1/3),暂时选择抽速为10000L / s扩散泵进行试算。从表4-17可以看出K-600扩散泵可以满足要求。泵的进风口直径为0.6m,出风口直径为0.15mo。 (3)计算扩散泵与真空室排气口之间管道的电导率,并验证K.600扩散泵是否合适。扩散泵的直径为0.6m。为了增加导流板的导电性,将其直径扩大到700mm(如图9-12所示)。为了简化电导的计算,不计算挡板的圆锥部分。